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中国 実験室のマッフル炉 メーカー
Zhengzhou Brother Furnace Co.,Ltd

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水晶管が付いている鋼鉄高温実験室炉PECVDの割れた環状炉

水晶管が付いている鋼鉄高温実験室炉PECVDの割れた環状炉

Steel High Temperature Laboratory Furnace PECVD Split Tube Furnace With Quartz Tube

商品の詳細:

起源の場所: 中国
ブランド名: Brother Furnace
証明: CE
モデル番号: BR-PECVD

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最小注文数量: 1 セット
価格: Negotiation
パッケージの詳細: 全体的な船積みのための強い木箱
受渡し時間: 7-21 仕事日
支払条件: / TのL / CのTは、ウェスタンユニオン
供給の能力: 1 ヶ月あたりの 200 セット
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詳細製品概要
Max Temperature: 1200℃ Normal vacuum: -0.1MPa
Max Vacuum: Configuration molecular pump, Vacuum 7x10-4 Pa (Optional) Flange: 304 stainless steel sealing flange
Over-temperature protection: automatic power-off when the temperature exceeds the allowable set value Safety protection: Automatically power off when the furnace body leaks
Furnace structure: double layer steel dual cooling fan, surface temperature below 50℃ Max Heating rate: 20°C /min
TEMPERATURE ACCURACY: ±1℃ TEMPERATURE UNIFORMITY: ±5℃
Temperature Control: 50 Segments programmable and auto control Furnace tube: Quartz tube
Application: Lab PECVD split tube furnace with quartz tube

水晶管が付いている高い温度の実験室PECVDの割れた環状炉
 
理性的なPECVDの紹介:
PECVDシステムは従来のCVDの反作用の温度を減らすように設計されています。それはガスの反応をイオン化するために従来のCVDの前のRFの誘導装置を取付けました従って血しょうは発生します。血しょうの高い活動は反作用です血しょうの高い活動が加速された原因です。従って、このシステムはPECVDと呼ばれます。
このモデルは新製品です、ほとんどの管PECVDシステムの利点を総合し、PECVDシステムの前部の予備加熱の地帯を加えました。テストは沈殿速度がより速いことを、フィルムの質よりよいです示しました、穴はより少しで、割れません。AISOのフル オートのインテリジェント制御システムは私達の会社によって独自に設計されています、作動することは便利であり、機能はより強力です。
広い適用範囲:メタル・フィルムの、陶磁器のフィルム、合成のフィルム、さまざまなフィルムの連続的な成長。機能を高めること容易血しょうクリーニングの腐食および他の機能を拡大できます
 
 
主な特長:

  • 高いフィルムの溶着速度:フィルムの溶着速度を非常に高めるRFの白熱技術は、溶着速度10Å/Sに達することができます
     
  • 高い区域の均等性:高度の分岐RFの供給の技術、特別なガス道の配分および暖房技術、等は、フィルムの均等性の索引の範囲8%を作ります
     
  • 高い一貫性:半導体工業の高度の設計思想を使用して、1沈殿の基質間の偏差は2%よりより少しです
     
  • 高いプロセス安定性:非常に安定した装置は連続的な、安定したプロセスを保障します

水晶管が付いている鋼鉄高温実験室炉PECVDの割れた環状炉
 
 
標準のスペアー:

  • 管4のPCを差し込むこと
  • 煙管1のPC
  • 真空ポンプ1のPC
  • 真空のシーリング フランジ2のセット
  • 真空ゲージ1のPC
  • ガス配達及び真空ポンプ
  • RF血しょう装置

 
任意スペアー:
 

  • クイック リリースのフランジ、三方フランジ
  • 7インチHDの接触scree

 
 
 
実験室PECVDの割れた環状炉の標準規格:
 

1. 暖房装置
Max.temperature 1200℃ (1時間)
働く温度 ≤1100℃
部屋のサイズ Φ100*1650mm (管のdiamaterはカスタマイズ可能です)
部屋材料 高い純度のアルミナのファイバー・ボード
熱電対 Kのタイプ
Temperatureaccuracy ±1℃
温度調整

暖房率、冷却率およびドウェル時間の精密な制御のための● 50のプログラム可能な区分。

過熱する及び壊された熱電対によって壊される保護のPIDの自動調子機能で造られる●。

● PLCの中PCのコントローラーによる自動制御システム。

●はプログラムによってシステムを滑らせる温度調整システム(時間および間隔)制御できます。

暖房の長さ 440mm
一定した暖房の長さ 200mm
発熱体 抵抗ワイヤー
電源 単一フェーズ、220V、50Hz
評価される力 9kW
2. RF血しょう源
RFの頻度 13.56 MHz±0.005%
出力電力 500W
最高力を反映して下さい 500W
RFはインターフェイスを出力しました 女性50 Ω、Nタイプ
力の安定性 ±0.1%
調和成分 ≤-50dbc
供給電圧/頻度 単一フェーズAC220V 50/60HZ
全効率 >=70%
力率 >=90%
冷却方法 強制風
3. 3つの精密多くの流量計の制御システム
外のり寸法 600x600x650mm
コネクターのタイプ Swagelok SSの接合箇所
標準的な範囲(N2 0~100sccm、0~200sccm、またはカスタマイズ可能
正確さ ±1.5%
線形 ±0.5~1.5%
反復性 ±0.2%
応答時間

ガスの特性:1~4秒;
電気特性:10秒

圧力範囲 0.1~0.5 MPa
Max.pressure 3MPa
インターフェイス Φ6,1/4」
表示 4ディジットの表示
周囲温度 5~45高い純度のガス
圧力計 - 0.1~0.15 MPaの0.01 MPa/単位
弁を停止して下さい Φ6
SSの管を磨いて下さい Φ6
含まれている低い真空システム
 

 
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