起源の場所: | 中国 |
ブランド名: | Brother Furnace |
証明: | CE |
モデル番号: | BR-PECVD |
最小注文数量: | 1 セット |
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価格: | Negotiation |
パッケージの詳細: | 全体的な船積みのための強い木箱 |
受渡し時間: | 7-21 仕事日 |
支払条件: | / TのL / CのTは、ウェスタンユニオン |
供給の能力: | 1 ヶ月あたりの 200 セット |
最高温度: | 1200℃ | 正常な真空: | -0.1Mpa |
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最高の真空: | 構成分子ポンプ、真空7x10-4 Pa (任意) | フランジ: | 304ステンレス鋼のシーリング フランジ |
過熱保護: | 温度が正当な設定値を超過する時自動パワー | 安全保護: | 炉ボディが漏る時電源遮断の自動的に |
炉の構造: | 二重層の鋼鉄二重冷却ファン、50℃の下の表面温度 | MAXの暖房率: | 20°C /min |
温度の正確さ: | ±1℃ | 温度の均等性: | ±5℃ |
温度調整: | プログラム可能な50の区分および自動制御 | 煙管: | 水晶管 |
適用: | PECVD | ||
ハイライト: | 回転環状炉,水晶環状炉 |
最高1200C。ガス配達及び真空ポンプが付いている実験室PECVDの環状炉
理性的なPECVDの紹介:
PECVDシステムは従来のCVDの反作用の温度を減らすように設計されています。それはガスの反応をイオン化するために従来のCVDの前のRFの誘導装置を取付けました従って血しょうは発生します。血しょうの高い活動は反作用です血しょうの高い活動が加速された原因です。従って、このシステムはPECVDと呼ばれます。
このモデルは新製品です、ほとんどの管PECVDシステムの利点を総合し、PECVDシステムの前部の地帯を予備加熱することを加えました。テストは沈殿速度がより速いことを、フィルムの質よりよいです示しました、穴はより少しで、割れません。AISOのフル オートのインテリジェント制御システムは私達の会社によって独自に設計されています、作動することは便利であり、機能はより強力です。
広い適用範囲:メタル・フィルムの、陶磁器のフィルム、合成のフィルム、さまざまなフィルムの連続的な成長。機能を高めること容易血しょうクリーニングの腐食および他の機能を拡大できます
主な特長:
標準のスペアー:
任意スペアー:
1200℃ PECVDの環状炉の標準規格:
1. 暖房装置 | ||
Max.temperature | 1200℃ (1時間) | |
働く温度 | ≤1100℃ | |
部屋のサイズ | Φ100*1650mm (管のdiamaterはカスタマイズ可能です) | |
部屋材料 | 高い純度のアルミナのファイバー・ボード | |
熱電対 | Kのタイプ | |
Temperatureaccuracy | ±1℃ | |
温度調整 |
暖房率、冷却率およびドウェル時間の精密な制御のための● 50のプログラム可能な区分。 過熱する及び壊された熱電対によって壊される保護のPIDの自動調子機能で造られる●。 ● PLCの中PCのコントローラーによる自動制御システム。 ●はプログラムによってシステムを滑らせる温度調整システム(時間および間隔)制御できます。 |
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暖房の長さ | 440mm | |
一定した暖房の長さ | 200mm | |
発熱体 | 抵抗ワイヤー | |
電源 | 単一フェーズ、220V、50Hz | |
評価される力 | 9kW | |
2. RF血しょう源 | ||
RFの頻度 | 13.56 MHz±0.005% | |
出力電力 | 500W | |
最高力を反映して下さい | 500W | |
RFはインターフェイスを出力しました | 女性50 Ω、Nタイプ | |
力の安定性 | ±0.1% | |
調和成分 | ≤-50dbc | |
供給電圧/頻度 | 単一フェーズAC220V 50/60HZ | |
全効率 | >=70% | |
力率 | >=90% | |
冷却方法 | 強制風 | |
3. 3つの精密多くの流量計の制御システム | ||
外のり寸法 | 600x600x650mm | |
コネクターのタイプ | Swagelok SSの接合箇所 | |
標準的な範囲(N2) | 0~100sccm、0~200sccm、またはカスタマイズ可能 | |
正確さ | ±1.5% | |
線形 | ±0.5~1.5% | |
反復性 | ±0.2% | |
応答時間 |
ガスの特性:1~4秒; |
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圧力範囲 | 0.1~0.5 MPa | |
Max.pressure | 3MPa | |
インターフェイス | Φ6,1/4」 | |
表示 | 4ディジットの表示 | |
周囲温度 | 5~45高い純度のガス | |
圧力計 | - 0.1~0.15 MPaの0.01 MPa/単位 | |
弁を停止して下さい | Φ6 | |
SSの管を磨いて下さい | Φ6 | |
含まれている低い真空システム |
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